著者

荒川 亮 櫻田 陽 森 英季 長縄 明大 渋谷 嗣 大日方 五郎

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集 2014年度精密工学会秋季大会

巻号頁・発行日

pp.173-174, 2014-09-01 (Released:2015-03-01)

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超音波を発生させる機構のうち,数十kHz程度の低周波数から強力な超音波を得られる振動子としてランジュバン型振動子が知られている.ランジュバン型振動子はその特性から,霧化技術やソナーといった高帯域の振動が求められる分野で広く用いられている.本研究では,ランジュバン型振動子における単振動の超音波駆動源として,円環型圧電素子について電気的・機械的に評価し,振動特性の改善に関する検討を行なった.

著者

森 英季 干野 隆之 大日方 五郎 大内 一弘

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.100, no.625, pp.25-30, 2001-02-09

被引用文献数

2

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直動型空気静圧軸受けを有するリニア・アクチュエータを用いて、高精度トラック・フォローイング及び高速なシーク動作のための位置決め機構を提案した。試作したアクチュエータの共振周波数は、市販HDDに搭載されているロータリ型に比べ、約2倍程高いことが確認できた。このトラッキング・システムを用いてトラッキングを行なったところ、一般に許容されるトラッキングエラー(トラック幅の1/10)の更に1/2でトラック・フォローできることを確認した。またPDコントローラを用いたフィードバック制御によって、100Gbit/in^2以上の高TPIで必要となる10nm分解能の高精度位置決めが可能であることをステップ応答やランプ応答から検証した。