著者

橘 邦英

出版者

一般社団法人 溶接学会

雑誌

溶接学会誌 (ISSN:00214787)

巻号頁・発行日

vol.65, no.3, pp.204-209, 1996-04-05 (Released:2011-08-05)

参考文献数

30

著者

橘 邦英

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.70, no.3, pp.337-343, 2001-03-10 (Released:2009-02-05)

参考文献数

35

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材料プロセスに用いられる反応性ガスの低圧プラズマ中では,電子やイオン,中性ラジカルなどが気相中や器壁・基板の表面でさまざまな物理的,化学的な過程を引き起こし,その結果として,薄膜形成,エッチング,表面改質などのプロセスが進行する.プロセスの再現性を確保して積極的に制御するためには,そのようなプラズマによって生成された非平衡反応場の中身を十分に理解することが必要となる.本講座の最初に,反応性プラズマ中での複雑な過程を,気相反応,輸送,表面反応に分類して基礎知識を整理する.

著者

橘 邦英

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.75, no.4, pp.399-411, 2006-04-10 (Released:2019-09-27)

参考文献数

92

被引用文献数

5

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近年,μm〜mmスケールの微小なプラズマが注目されてきている.大気圧を含む高気圧領域で生成されるマイクロプラズマは,低圧下のマクロスケールで生成される従来のプラズマとは違ったプラズマパラメーターや微小空間に起因するパラメーターで特徴づけられる.そのような特性をプラズマ本来の反応性,発光性,導電・誘電性と組み合わせることによって,材料合成や微細加工,化学分析やフォトニックデバイスなどへの新しい応用技術への発展の兆しがみえてきた.そこで,マイクロプラズマの生成と診断・シミュレーションの現状や今後の課題とともに,バイオマテリアルのプロセスを含めた多方面への新しい応用の方向を解説し,マイクロプラズマが創成する学術分野や応用技術の将来を展望する.