著者
照井 充 福田 勇夫 加藤 明彦 藤城 恒夫 周 立波 江田 弘
出版者
一般社団法人日本機械学会
雑誌
茨城講演会講演論文集 : Ibaraki district conference
巻号頁・発行日
vol.2001, pp.99-100, 2001-09-20

It is experimentally known that the insert tools significantly change in their cutting performances when being subject to an electric field. For example, electrically/magnetically treated inserts show mach longer tool life (average 2 times) than those untreated. This research takes the first step to develop a very low cost system for electrical/magnetic insert treatment, and systematically investigate the electrical effects on the tool performance. A series of cutting tests have been executed to compare the tool performances between the treated/untreated tools. The tool performance has been evaluated from viewpoint of magnetic flux distribution, hardness and flank wear. The ultimate results lead to an analytical conclusion and a principle for tool performance optimization.
著者
周 立波 清水 淳 尾嶌 裕隆 山本 武幸 江田 弘 神谷 純生 岩瀬 久雄 山下 輝樹 田代 芳章 田 業氷
出版者
茨城大学
雑誌
基盤研究(B)
巻号頁・発行日
2007 (Released:2007-04-01)

本研究は,超高速光通信用可変分散補償器のコア要素である単結晶Siエタロンの加工技術を確立することを目的に,独自に開発したSiと化学反応するCMG加工技術を用いて,大口径Siウエハを高精度・高品位に加工できるOne-stop加工システムを開発し,CMG砥石およびプロセスの最適化を行い,固定砥粒加工だけでGBIR<0.3μm,加工変質層のない15μmの極薄Siウエハを実現した.