- 著者
- 後藤 達彦 江川 鍛 小川 博久 土用下 尚外 福田 浩幸 犬塚 博章 舘 忠裕 藤村 直也 安形 保則 ニラウラ マダン 安田 和人
- 出版者
- 一般社団法人電子情報通信学会
- 雑誌
- 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス (ISSN:09135685)
- 巻号頁・発行日
- vol.110, no.29, pp.65-68, 2010-05-06
有機金属気相成長法によりSi基板上に成長した厚膜CdTe単結晶層を用いた、大面積X線・γ線画像検出器の開発を目的として研究を行っている。これまで検出器の製作では、Si基板上のCdTe成長層に部分的な剥離や、多結晶化、電気特性の不均一等が発生する場合があり、これらの防止とその改善が課題であった。これらの問題はCdTe成長に先立って実施する、Si基板の成長前処理(GaAs処理)に原因があると考えられるのでその改善を図った。GaAs処理の改善後、CdTe成長層の剥離は防止でき、Si基板上全面で高品質の単結晶CdTe層が成長可能となった。p-CdTe/n-CdTe/n+-Si構造の成長層をダイシングし、ダイオードアレイを試作した。その結果、ダイシング時にもCdTe層の剥離は発生せず、CdTeとSiの結合状態も改善されていることが分かった。またアレイ内のダイオードについて電流-電圧特性を測定したところ、場所によらず均一なダイオード特性を確認できた。
- 著者
- ニラウラ マダン 中村 篤志 青木 徹 畑中 義式
- 出版者
- 一般社団法人映像情報メディア学会
- 雑誌
- 映像情報メディア学会技術報告 (ISSN:13426893)
- 巻号頁・発行日
- vol.25, no.19, pp.25-30, 2001-02-23
- 被引用文献数
- 4
ガンマ線計測とその画像応用の目的でCdTe単結晶を用いた核放射線検出器を作製し、その動作特性を報告する。この検出器はp-i-nダイオード構造をもち、n型CdTeは単結晶CdTe上にプラズマを利用したMOCVD法によりエピタキシャル成長法によって、沃素を不純物として添加し作製した。p型は金を電極とすることによりショットキー接合とした。この検出器でコバルト57の122keVのガンバ線に対して半値幅1.7keV(1.3%)の値を得た。また、画像検出のために、p型領域をエキシマレーザーによりストライプ状にドーピングするレーザードーピング法を開発した。これらの結果は、画像検出器に応用するのに良い指針を示した。
1 0 0 0 OA 半導体放射線検出器の高性能化に関する研究
- 著者
- 青木 徹 中村 篤志 浅野 浩司 ニラウラ マダン 中西 洋一郎 畑中 義式
- 出版者
- 一般社団法人映像情報メディア学会
- 雑誌
- 映像情報メディア学会技術報告 (ISSN:13426893)
- 巻号頁・発行日
- vol.26, no.40, pp.1-6, 2002-06-18
M-π-n type Multi-pixel CdTe high-energy radiation detectors were fabricated by excimer laser processing technique combined excimer laser pattern doping with laser ablation method. The strip detectors showed high-energy resolution and uniform peak levels. The color high-energy radiation images colored by peak energy were obtained with high-energy resolution by 128pixel CdTe detector with ASIC chips.