2 0 0 0 ナノピクセルカドテルX線イメージセンサの基礎研究
本研究の目的は、X線入射によりCdTeダイオード内で発生する正孔によるイメージパターンをマトリクス駆動微小電子源アレイからの電子ビームで読み出すことにより、微小電子源アレイの画素ピッチで解像度が決まる、超高精細の微小電子源アレイ駆動CdTe X線イメージセンサを開発することである。本年度は、イオン注入プロセスを用いた薄膜誘起立体化により直立薄膜微小電子源からなる5×5と10×10のマトリクス駆動直立薄膜微小電子源アレイを開発した。イオン注入プロセスを用いた薄膜誘起立体化は比較的歩留まりよく、ほぼ全ての画素が動作するマトリクス駆動直立薄膜微小電子源アレイを製作できることがわかった。そこで、CdTeショットキーダイオードとマトリクス駆動直立薄膜微小電子源アレイを組み合わせ、微小電子源アレイからの電子ビームでX線照射により発生するCdTeダイオードの正孔イメージパターンを読み出すX線センサを製作した。X線センサ特性として、X線管電流とX線管電圧を変化させ、CdTeダイオード上に置いた銅版の有無とによる信号電流の変化を読み取った。その結果、この微小電子源アレイ駆動CdTeショットキーダイオードは、CdTeダイオードに入射するX線量に比例した信号を出力できるX線センサとして動作することを確認した。以上、薄膜誘起立体化によるマトリクス駆動直立薄膜微小電子源アレイとCdTeダイオードで超高精細の微小電子源アレイ駆動CdTe X線イメージセンサの開発の基盤技術を確立した。
1 0 0 0 OA フォトンカウンティングCTの原理
1 0 0 0 超小型X線および中性子センサを用いたインフラ維持管理用非破壊検査
- 著者
- 小池 昭史 青木 徹
- 出版者
- 一般社団法人 溶接学会
- 雑誌
- 溶接学会誌 (ISSN:00214787)
- 巻号頁・発行日
- vol.90, no.1, pp.76-82, 2021
1 0 0 0 放射線センサの仕組み
- 著者
- 青木 徹 小池 昭史 奥之山 隆治
- 出版者
- 一般社団法人 電気学会
- 雑誌
- 電気学会誌 (ISSN:13405551)
- 巻号頁・発行日
- vol.131, no.10, pp.692-695, 2011-10-01 (Released:2011-10-01)
- 参考文献数
- 3
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- 著者
- ニラウラ マダン 中村 篤志 青木 徹 畑中 義式
- 出版者
- 一般社団法人映像情報メディア学会
- 雑誌
- 映像情報メディア学会技術報告 (ISSN:13426893)
- 巻号頁・発行日
- vol.25, no.19, pp.25-30, 2001-02-23
- 被引用文献数
- 4
ガンマ線計測とその画像応用の目的でCdTe単結晶を用いた核放射線検出器を作製し、その動作特性を報告する。この検出器はp-i-nダイオード構造をもち、n型CdTeは単結晶CdTe上にプラズマを利用したMOCVD法によりエピタキシャル成長法によって、沃素を不純物として添加し作製した。p型は金を電極とすることによりショットキー接合とした。この検出器でコバルト57の122keVのガンバ線に対して半値幅1.7keV(1.3%)の値を得た。また、画像検出のために、p型領域をエキシマレーザーによりストライプ状にドーピングするレーザードーピング法を開発した。これらの結果は、画像検出器に応用するのに良い指針を示した。
- 著者
- 青木 徹 中村 篤志 浅野 浩司 ニラウラ マダン 中西 洋一郎 畑中 義式
- 出版者
- 一般社団法人映像情報メディア学会
- 雑誌
- 映像情報メディア学会技術報告 (ISSN:13426893)
- 巻号頁・発行日
- vol.26, no.40, pp.1-6, 2002-06-18
M-π-n type Multi-pixel CdTe high-energy radiation detectors were fabricated by excimer laser processing technique combined excimer laser pattern doping with laser ablation method. The strip detectors showed high-energy resolution and uniform peak levels. The color high-energy radiation images colored by peak energy were obtained with high-energy resolution by 128pixel CdTe detector with ASIC chips.