著者

神保 智子 石川 勝彦 伊藤 雅樹 津金 賢 田辺 義和 斎藤 由雄 富岡 秀起

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス

巻号頁・発行日

vol.96, no.18, pp.75-82, 1996-04-25

参考文献数

9

被引用文献数

1

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ゲート酸化膜の絶縁耐圧に影饗を及ぼす有機物汚染の評価を行った。ゲート酸化-polySi成膿を窒素券囲気下で連続処理した場合、酸化膜の欠陥密度が低減することを確認した。非連続処理の場合に搬送・保管中のウェハ表面に吸着する成分を、大気圧質量分析計を用いた昇温脱離法で解析した。その結果、プラスチック製ウェハカセットケースからの脱ガスである有機物がpolySi成膜時に脱離せず、酸化膜とpolySi界面に残留し、これが欠陥密度増加を引き起こすと考えられる。

著者

津野田 賢伸 高田 雅士 秋田 庸平 田中 博志 佐藤 真琴 伊藤 雅樹

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. RECONF, リコンフィギャラブルシステム (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.105, no.451, pp.37-41, 2005-11-24

被引用文献数

31 7

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動的に機能を変更可能なALUを二次元配列状に接続した演算セルアレイをベースとし, 各種ホストCPUと接続可能なディジタルメディア処理向け動的再構成プロセッサであるフレキシブルエンジン(Flexible Engine/Generic ALU array, FE-GA)を開発した.FE-GAは, 自由度の高い内部データ転送を可能とするクロスバネットワーク, 多バンクの演算用ローカルメモリに加え, コンフィギュレーションデータの効率的な2レベルの階層記憶とバックグラウンド転送, および自律的に動作するシーケンス制御を可能とする周辺機能モジュールを備え, 独立性の高いサブシステムとして動作することを特徴とする.

著者

佐藤 真琴 田中 博志 津野田 賢伸 高田 雅士 秋田 庸平 伊藤 雅樹

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. RECONF, リコンフィギャラブルシステム (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.105, no.451, pp.55-60, 2005-11-24

被引用文献数

10

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無線LANや音声・画像処理等, 規格が次々に生まれ, 高い処理性能が要求される分野において動的再構成可能プロセッサが注目を集めている.我々は同プロセッサとして, 性能面積比の向上を狙ったFE-GAの研究開発を進めている.本論文では, Fast Fourier Transform (FFT)のFE-GA向けアルゴリズムの考案, FE-GAへのマッピング, 主演算器利用率と呼ぶ性能評価指標の提案, 及び性能評価を行った.その結果, 2048点FFTに対して乗算器に対する主演算器利用率は96%となり, 本アーキテクチャはFFTに対して性能面積比が高いことがわかった.