著者

青木 勝詔 鈴木 恵友 高梨 久美子 石井 一久 SATYANARAYANA B. S. 尾浦 憲治郎 古田 寛 古田 守 平尾 孝

出版者

一般社団法人 日本真空学会

雑誌

真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN (ISSN:05598516)

巻号頁・発行日

vol.49, no.7, pp.430-432, 2006-07-20

参考文献数

8

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&nbsp;&nbsp;A novel method to make the sharp emitter tips having low threshold voltage of field emission was achieved using nanodiamond particles on conductive amorphous carbon films. A conductive tetrahedral amorphous (ta) carbon film and nano-sized diamond particles with the size of 50 to 200 nm were sequentially deposited by cathordic arc method using a glass substrate at room temperature. Tip structure with the height of 10 to 40 nm was formed by H₂ plasma etching of the diamond particles/ta-C double layer film. The threshold voltage of the field emission from the tip structures formed by the H₂ plasma etching was 3 V/&mu;m that was significantly lower than 10.4 V/&mu;m for the as-deposited diamond particles/ta-C double layer carbon film. This selective dry etching method using the nano-diamond particles could fabricate sharp and high density nano-sized diamond emitters on conductive ta-C films without any photo-masks of lithography processes.<br>

著者

河合 秀泰 藤井 俊治郎 石田 憲弘 町田 博宣 尾浦 憲治郎 本多 信一 片山 光浩

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.106, no.200, pp.1-4, 2006-07-27

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スクリーン印刷法で作製したカーボンナノチューブ(CNT)エミッターのエージング効果について調べた.DC電界下,20mA/cm^2の定電流で3時間,フィールドエミッションを持続させた結果,相対的に長いCNTが短くなり,新たに起毛したCNTが観察された.蛍光板による発光実験では,エージング後,局所的な電界集中がおこる箇所が減少し,エミッションの均一性が著しく改善した.これは,エージングによりCNTの長さが均一に揃い,エミッションサイトが増加したことに起因すると考えられる.さらに,電流密度の経時変化の測定から,エージングを施したエミッターでは,電流密度がより安定しており,寿命特性が向上していることがわかった.