著者

崔 埈豪 日比 貴之 古野 晃久 川口 雅弘 加藤 孝久

出版者

一般社団法人 日本トライボロジー学会

雑誌

トライボロジスト (ISSN:09151168)

巻号頁・発行日

vol.62, no.3, pp.228-235, 2017-03-15 (Released:2017-03-16)

参考文献数

21

被引用文献数

5

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In our previous study, microstructure and mechanical properties of diamond-like carbon (DLC) films prepared by plasma based ion implantation and deposition using toluene (C7H8) as a source gas were investigated. It was reported that G-peak full width at half maximum [FWHM(G)] shows a maximum value at a G-peak position of around 1540 cm-1, indicating structural changes of DLC films; polymer-like (PLC) to diamond-like carbon (DLC) structure in lower wavenumbers than 1540 cm-1 and diamond-like to graphite-like carbon (GLC) structure in higher wavenumbers than 1540 cm-1. Further, two linear relationship between mechanical properties and FWHM(G) were observed depending on the microstructure of DLC films. In this study, we report the dependence of source gases, methane (CH4), acetylene (C2H2) and toluene, on the microstructure of DLC films, and the correlation between microstructure and mechanical properties of DLC films. It was found that FWHM(G) shows a maximum at a G-peak position of around 1540 cm-1 regardless of source gases. Furthermore, there exists a linear relationship between PL background component and hydrogen content of the films, that is, hydrogen content can be estimated by a simple equation regardless of source gases. The correlation of hardness with FWHM(G) of DLC films prepared using CH4 and C2H2 gas shows good agreement with the correlation line of DLC-GLC provided in the case of C7H8.

著者

加藤 孝久 崔 ジュン豪 野坂 正隆 熊谷 知久 田浦 裕生 田中 健太郎 川口 雅弘

出版者

東京大学

雑誌

基盤研究(A)

巻号頁・発行日

2008

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本研究ではDLC膜中にさまざまな元素を添加することで,DLC膜の構造・物性の制御を行った.また,構造制御により得られたDLC膜の機械的特性,物理的特性,吸着特性を明らかにした.DLC膜の作成は,プラズマCVD法,イオン化蒸着法,プラズマ利用イオン注入・成膜法などさまざまな手法と成膜因子を用いて行った.実験で作成したDLC膜の表面・バルク構造・機械的特性は,分子シミュレーションを用いて得られた結果と定性的によく一致することを示した.

著者

梅原 徳次 後藤 実 月山 陽介 野老山 貴行 吉野 雅彦 川口 雅弘 上坂 裕之 村島 基之

出版者

名古屋大学

雑誌

基盤研究(S)

巻号頁・発行日

2013-05-31

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摩擦誘導ナノ構造層による超低摩擦の安定指針を得るため2つの装置を試作し、超低摩擦発現モデルを提案した。「超低摩擦発現ナノ構造変化層の摩擦時その場計測装置」により、カーボン系硬質膜の無潤滑時の超低摩擦は摩擦で形成するナノ構造変化層の厚さ、硬さ及び表面粗さが重要で、それらのパラメータを用いた「薄膜固体潤滑理論」が超低摩擦モデルとして妥当であることを定量的に明らかにした。また、「超低摩擦摩擦面の表面エネルギーのESEM内その場評価装置」により、摩耗痕の表面エネルギーの低減が摩擦低減に有効であることを定量的に明らかにし、超低摩擦が発現した際はナノ構造層の内部で摩擦する超低摩擦メカニズムを提案した。