- 著者
- 横山 賢介 伊藤 寛明 西宮 康治朗 長 秀雄
- 出版者
- 一般社団法人 日本機械学会
- 雑誌
- 日本機械学会論文集 (ISSN:21879761)
- 巻号頁・発行日
- vol.83, no.852, pp.17-00213-17-00213, 2017 (Released:2017-08-25)
- 参考文献数
- 14
This study aims to evaluate strength of a diamond-like carbon (DLC) film on a metal for glass press molding at high temperature. Static and cyclic indentation tests at high temperature up to 300℃ with AE monitoring technique were performed. AE monitoring reveled crack generation load or cyclic number during the indentation tests. The static strength of the films at each temperature was determined from maximum stress in the film in the radial direction induced by sink-in deformation due to static indentation. The maximum stress at each temperature was estimated with indentation loads at first AE generation and FEM analysis. Thermal stress in DLC film was at each temperature also calculated. The film strength estimated by taking the thermal stresses into account was decreased with an increase of temperature. In cyclic indentation test, AE due to cracks in film was detected after 1.0×104 cycles at the load where no crack generated under one loading cycle. The cyclic number to crack initiation for the sample in 300℃ was 1/50 smaller than that in room temperature.
- 著者
- 長 秀雄 竹本 幹男 西野 秀郎 塚原 祐輔 佐藤 倬暢 佐藤 治道 中野 禅 山中 一司
- 出版者
- 一般社団法人電子情報通信学会
- 雑誌
- 電子情報通信学会技術研究報告. US, 超音波
- 巻号頁・発行日
- vol.96, no.28, pp.41-47, 1996-04-26
レーザー干渉縞の位相速度走査法により励起した弾性表面波を用いて多孔質シリコン層の位相速度分散を30-90 MHz範囲で、また異方性を非破壊・非接触で測定した。音速測定誤差は1%以下と良好であった。位相速度は空孔率の増加とともに低下し、単結晶シリコンの1/2-1/3と極めて低かった。また、音速の伝播方向依存性を測定したところ90度の周期の異方性が測定され、周波数の上昇とともに最大・最小の音速差は小さくなり、空孔率0.500場合60MHzでは約30m/s程度であった。さらに、逆問題解析によって3個の弾性定数(C_<11>,C_<12>,C_<44>)と膜厚を独立した4つの未知数として推定した。その結果,空孔率の大きい多孔質シリコンはほぼ等方性であり、非晶質的であると思われる。