著者

鈴木 義昭 藤井 裕介 淵脇 大海 見崎 大悟 青山 尚之

出版者

一般社団法人 日本機械学会

雑誌

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集

巻号頁・発行日

vol.2004, 2004

著者

青山 尚之 岩崎 隆之 佐々木 彰 深谷 次助 下河辺 明

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会誌 (ISSN:09120289)

巻号頁・発行日

vol.59, no.6, pp.1007-1012, 1993-06-05 (Released:2009-07-23)

参考文献数

9

被引用文献数

16 21

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This paper describes design, fabrication and performance of the miniature walker developed for a new precision production system. This machine consists of piezo-actuators and electromagnetic legs which are synchronized as to move like an inchworm and those elements are jointed mechanically for the machine to walk on any curved surface including a wall and a ceiling. The magnetic forces of this small machine can be remote controlled critically for preventing from slipping and falling down although conventional inchworm mechanisms need some guide rails or are restricted on a horizontal plane. This arrangement also allows the lack of mechanical elements which may provide a very high positioning resolution with a wider working area. In the experiments, our miniature machines which are the size of golf ball are fabricated and they can move on any inclined surface with continuous sub-micron steps. This results means the mini-walkers have the feasibility for applying to a new precision production system where they can cooperate with conventional machines.

著者

越湖 智之 木原 浩孝 戸部 信幸 淵脇 大海 青山 尚之 見崎 大悟 臼田 孝 井野内 康克

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2005, pp.712, 2005

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本研究では、uTAS分野において活用可能な、微少量の液体をハンドリングする分注機構を搭載した超小型ロボットの開発を行っている。前報までに振動モータを利用した微少液滴塗布機構を開発してきたが、振動の振幅制御を手動で行っていた為、作業に熟練を要した。今回、微小変位を高速に測定できる渦電流式変位センサ用いて自動的に振幅制御を行う手法を新たに開発したので、この原理および性能について報告する。

著者

岩田 太 川口 誠 佐々木 彰 勝又 章 青山 尚之

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会誌 (ISSN:09120289)

巻号頁・発行日

vol.62, no.1, pp.150-154, 1996-01-05 (Released:2009-06-30)

参考文献数

17

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This paper describes a new scanning probe microscope which is able to measure the shearing stress generated by the interaction between the STM tip and the sample surface under STM controlled. The method of measurement is utilized the quartz crystal microbalance technique. The sample is deposited on the AT-cut quartz crystal resonator surface, and the shearing stress which is generated in the sample causes the resonance frequency shift of the quartz crystal resonator. By detecting this signal, we can obtain the shearing stress distribution. The gold thin films have been observed for the STM surface topography and the distribution of subsurface shearing stress simultaneously. In the experiment, the sensitivity of the shearing stress is as high as 0.12 N/m for a 0.05 Hz frequency shift of the quartz crystal resonance frequency.