著者

石川 亮 柴田 直哉 幾原 雄一

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.92, no.2, pp.74-78, 2023-02-01 (Released:2023-02-01)

参考文献数

17

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収差補正レンズ技術の商用化により,物質の局所構造を原子レベルで解析できる走査透過型電子顕微鏡はさまざまな分野で必要不可欠なツールとなった.しかし,得られる情報は観察方向に投影された2次元構造であり,物性を担う格子欠陥などの3次元構造を原子レベルで観察することはいまだ困難である.本稿では,新世代の収差補正レンズにより実現した大収束角照射を用い,一軸に沿って3次元構造情報を取得する深さ断層法の最近の進展について紹介する.

著者

柴田 直哉

出版者

公益社団法人 日本顕微鏡学会

雑誌

顕微鏡 (ISSN:13490958)

巻号頁・発行日

vol.54, no.2, pp.77-84, 2019-08-30 (Released:2019-09-07)

参考文献数

37

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STEMを用いた位相イメージング法の一種であるDPC STEMは,通常のSTEM本体と分割型検出器やピクセル型検出を組み合わせることで,試料内部の局所電場・磁場分布を可視化できる手法である.近年のSTEM本体性能の向上と検出器開発の進展により,DPC STEMは市販のSTEM装置でも利用できる一般的な手法となりつつある.本稿では,DPC STEMの簡単な原理から始めて,最近の材料・デバイス研究応用事例を紹介する.また,この手法を原子分解能観察に用いることで,原子内部の構造観察が可能になりつつある最新の開発状況についても紹介する.

著者

熊本 明仁 柴田 直哉 藤平 哲也 幾原 雄一

出版者

日本結晶学会

雑誌

日本結晶学会誌 (ISSN:03694585)

巻号頁・発行日

vol.59, no.5, pp.246-251, 2017-10-31 (Released:2017-11-03)

参考文献数

20

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The atomic structures of liquid-phase bonded heterointerfaces between Al alloy and AlN single crystal was examined using aberration-corrected scanning transmission electron microscopy combined with high-sensitive energy-dispersive X-ray microanalysis. The formation of O-Mg-O monolayer structure was found at the interface, facilitating the bonding between the two dissimilar crystals during liquid-phase bonding processes. Understanding the spontaneous formation of such layered transition structures at the heterointerfaces will be a key for fabricating very stable liquid bonded Al alloy / AlN heterointerfaces.