著者

藤農 佑樹 瀬戸 大樹 武部 正英 為頭 美斗子 ポール ナラヤン チャンドラ 飯山 宏一 高宮 三郎

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.105, no.110, pp.7-12, 2005-06-03

参考文献数

5

---

化合物半導体MIS構造デバイスを実現するため、我々はこれまでにGaAsについては酸窒化が良好な絶縁膜/半導体界面形成の手段となることを明らかにした。しかし、従来のプロセスでは窒素プラズマによるレジストアッシングの問題からプラズマ処理時間が制限され、充分な窒化を行うことが困難であった。本研究では、レジストアッシング問題を回避するために、通常のレジストの代わりにAl膜を使用するプロセスを考案し、その新プロセスによりGaAs-MISFETを試作した。

著者

山田 実 高宮 三郎 金川 秀也 北川 章夫

出版者

Japanese Society for Engineering Education

雑誌

工学教育 (ISSN:13412167)

巻号頁・発行日

vol.51, no.2, pp.51-54, 2003-03-20

被引用文献数

1 1

---

大学における卒業研究は,課題設定とその解決方法について少人数の単位で教員から直接の指導を受け,さらにその結果を論文としてまとめ,口頭発表をするなど,総合的な教育効果を有している.しかし,卒業研究は個別の教員や研究室単位で実施されているため,教育の内容や成果について学科や学部全体としての成果を把握するのが困難である.そこで,筆者等の学科では,学生自身と教員による卒業研究での達成度評価を平成13年度に試行した.結論としては,各学生は固有の個性を有しているが,学科等での平均をとると,その個性が消えてしまい.統計処理について慎重であるべき事が判った.平成14年度では,中間発表と最終発表で評価を実施し,達成度の進歩を評価する予定である.

著者

飯山 宏一 板倉 章太郎 前田 隆宏 橋本 松進 高宮 三郎

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. LQE, レーザ・量子エレクトロニクス

巻号頁・発行日

vol.98, no.41, pp.79-84, 1998-05-11

被引用文献数

2

---

長尺の光ファイバの内部診断を目的としたFMCWリフレクトメトリについて述べた。本システムでは、参照光と被診断光ファイバからの反射光との光路長差が光源の可干渉距離よりも長く、参照光と反射光とのビートスペクトルを測定する。空間分解能は光源のスペクトル線幅が狭く、光周波数掃引の繰り返し周波数が高いほど向上する。実際に、外部共振器構造の半導体レーザを光源に用い、外部共振器長変調により光周波数掃引を行って実験を行ったところ、5km長の光ファイバ出射端で23m、11km長の光ファイバ出射端で100m以下の空間分解能を得た。また、光源の位相揺らぎを考慮してビートスペクトルの理論解析を行い、測定結果とほぼ一致した結果を得た。