著者

生駒 俊明

出版者

公益財団法人 日本学術協力財団

雑誌

学術の動向 (ISSN:13423363)

巻号頁・発行日

vol.11, no.2, pp.46-50, 2006-02-01 (Released:2009-12-21)

著者

福田 佳也乃 大矢 克 永井 智哉 中山 智弘 生駒 俊明

出版者

研究・イノベーション学会

雑誌

年次学術大会講演要旨集

巻号頁・発行日

vol.19, pp.457-460, 2004-10-15

著者

生駒 俊明

出版者

公益社団法人 計測自動制御学会

雑誌

計測と制御 (ISSN:04534662)

巻号頁・発行日

vol.9, no.8, pp.610-623, 1970-08-10 (Released:2009-11-26)

著者

生駒 俊明 森塚 宏平

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.51, no.2, pp.205-209, 1982-02-10 (Released:2009-02-09)

参考文献数

12

被引用文献数

4

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電子線超音波顕微鏡は,電子ビーム照射により発生する超音波を用いて像を得る新しい顕微鏡である.試料の弾性的性質や熱的性質がとらえられるので,電子線超音波顕微鏡は,半導体材料やデバイスの評価手段として有望である.特に集積回路等の内部構造を観察できるので,今後種々の応用が期待される.ここでは,筆者らの研究結果を基に動作原理,観察例を解説している.

著者

勝部 昭明 安達 芳夫 生駒 俊明

出版者

東京大学生産技術研究所

雑誌

生産研究 (ISSN:0037105X)

巻号頁・発行日

vol.25, no.12, pp.535-538, 1973-12-01