著者

佐藤 海二

出版者

自動制御連合講演会

雑誌

自動制御連合講演会講演論文集 第52回自動制御連合講演会

巻号頁・発行日

pp.70, 2009 (Released:2010-01-22)

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本論文は,NCTF制御と呼ぶ精密運動システムを簡単に設計・実現する方法とその応用結果について述べている.用いられるコントローラは,動作の規範となり位相面上に描かれるNCTとそれに追従させるためのPI補償器より構成される.NCTは開ループ応答波形から簡単に得られ,補償器の調整も簡単である.制御対象としてボールねじ機構を取り上げ,設計手順,制御性能について説明している.

著者

佐藤 海二 前田 ギレルメ 橋詰 等 進士 忠彦

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2005, pp.698-698, 2005

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本論文は,コンパクトナノ加工機用に開発した超精密XY位置決めテーブルシステムの制御性能向上を目的に行ったコントローラの改良とその有効性について述べている.使用するアクチュエータは4個,目標値は位置,姿勢のみとし,外乱抑制特性の向上,行過ぎ量の抑制のためにXYθ3方向のコントローラを改良している.設計した制御系を用いて半径100nm,周期500Hz以下で円運動させたところ,軌跡誤差は11nm以下と良好な実験結果を示している.

著者

ホリカワ オズワルド 佐藤 海二 下河辺 明

出版者

公益社団法人精密工学会

雑誌

精密工学会誌 (ISSN:09120289)

巻号頁・発行日

vol.57, no.12, pp.2231-2236, 1991-12-05

被引用文献数

3 2

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Reversal method is a well known method for roundness measurement. Although it is simple, it requires the reversion of the workpiece relative to the rotary mechanism. Such a reversion is impossible in some situations, for example, when the axis of the rotary mechanism itself is to be measured. In order to solve this problem, this paper proposes a new method called Improved Reversal Method (IRM), in which the reversion of the workpiece becomes unnecessary. In the IRM, an auxiliary reference (a cylindrical master) is set on a workpiece. The workpiece and the auxiliary reference are rotated and measured simultaneously. The auxiliary reference is then reversed and the measurement is repeated. By processing results of the first and the second measurements, not only roundness errors of the workpiece and the auxiliary reference, but also radial motion errors of the workpiece axis before and after the reversion can also be obtained. The effectiveness of the IRM is demonstrated by experiments in which a measurement reproducibility better than 17 nm and repeatability better than 31 nm were achieved.

著者

佐藤 海二

出版者

東京工業大学

雑誌

基盤研究(B)

巻号頁・発行日

2009

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永久磁石を用いず,多層構造により高い推力-可動部質量比を有する精密・高速平面モータを実現することを目的に,まず基本となるアクチュエータ構造の課題を調べ,次にその結果を基礎に2種類の新たなアクチュエータ構造を提案し,その有効性を検証した.その結果,摩擦力低減の課題はあるが,それらが高い推力-可動部質量比を有する平面モータ用電磁アクチュエータや,簡易で応用範囲の広いアクチュエータとして利用できることがわかった.

著者

萩原 利宣 枝長 孝幸 佐藤 海二

出版者

一般社団法人日本機械学会

雑誌

年次大会講演論文集 : JSME annual meeting

巻号頁・発行日

vol.2004, no.7, pp.307-308, 2004-09-04

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This paper describes a new optical switch based on MEMS techniques. This comprises two plates which have many electrodes on its surface and belt-shaped thin film mirrors which are put between the plates. The shape of the mirror is deformed by electrostatic force and the optical path is controlled. The switch has a simple structure and basically easy to assemble. It is easy to change a optical path greatly by a relatively small stress to act on the mirror. The pates and the mirror are made by MEMS techniques. In this paper, the principle of the optical switch is introduced and the behavior of the experimental switch is confirmed.