著者

臼田 宏治 木村 健次郎 小林 圭 山田 啓文

出版者

公益社団法人 日本表面科学会

雑誌

表面科学 (ISSN:03885321)

巻号頁・発行日

vol.28, no.2, pp.84-90, 2007-02-10 (Released:2007-03-20)

参考文献数

16

被引用文献数

1 1

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We introduce scanning capacitance force microscopy (SCFM), a newly developed dopant profiling method, and a 3-dimensional wiring procedure enabling evaluation of dopant profile under metal-oxide-semiconductor field-effect-transistor (MOSFET) operation. The principle of the SCFM is based on measurement of an electrostatic force (ESF) that is induced by bias voltage of angular frequency ω between a tip and a sample. The focused ion beam (FIB) technique was employed to evaluate dopant profile for the cross-section of MOSFET devices under the device operation. Local etching, deposition, and formation of small wiring for the specified MOSFET were successively carried out with the FIB, and the variation of dopant profiling was clearly shown with applying voltage to the MOSFET. These techniques are expected to be utilized for the failure analysis and the development of next-generation devices.

著者

小林 圭 山田 啓文

出版者

一般社団法人 日本生物物理学会

雑誌

生物物理 (ISSN:05824052)

巻号頁・発行日

vol.56, no.4, pp.234-237, 2016 (Released:2016-07-25)

参考文献数

10

著者

津田 展宏 山田 啓文 石田 文彦 宮下 正之 山口 正高

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会誌 (ISSN:09120289)

巻号頁・発行日

vol.55, no.1, pp.146-151, 1989-01-05 (Released:2009-10-08)

参考文献数

4

被引用文献数

3 3

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We have developed the wide range scanning tunneling microscope (STM) to measure surface topography of a diamond turned gold mirror, a gold coated float polished glass surface and so on. Three dimensional positioning of our STM device is achieved not by using a famous piezoelectric tripod, but by monolithic high precision wide ange translation mechanisms, which we call multi-compound parallel spring. One of strong points of this device is that capability of this specially fabricated X-Y stage is to measure over a sample area of 70μm×70μm and is easily cut from a monolith. We have got an information that each diamond tip trace straightness of the turned surface using a high precision air bearing lathe changes noticeably in the portion. This fact shows that we still have to improve not only such manufacturing conditions as tool radius, and the roughness of tool tips but also the surface finish machine environments especially vibrations.

著者

小林 圭 山田 啓文 桑島 修一郎

出版者

京都大学

雑誌

萌芽研究

巻号頁・発行日

2006

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本年度は、カンチレバーを用いた周波数検出型バイオセンサーにおいて、その最小検出質量を決定する周波数ノイズを定量的に予測するモデルを考案し、また実際にノイズ評価を行うことで、その妥当性を評価した。従来、カンチレバーの共振周波数を検出する周波数検出型のバイオセンサーでは、その変位を検出する変位検出系のノイズによって周波数ノイズが決定されると考えられてきた。つまり、周波数変調(FM)通信と同様に取り扱われてきたのである。しかしながら、実際にバイオセンサーで用いられるカンチレバーの機械的Q値は非常に低く、しばしば10以下となるため、そうした取り扱いが妥当であるかについては疑問視されてきた。我々は、変位検出系のノイズが自励発振ループ内で発生することを考慮に入れた、カンチレバーの周波数ノイズを定量的に予測するモデルを考案した。これにより、低Q値のカンチレバーの周波数ノイズも正確に予測することができるようになった。また、この妥当性を実際に液中で自励発振させたカンチレバーの周波数ノイズを計測することにより確認した。一方、カンチレバーの変位検出系の低ノイズ化対策をさらに進め、10fm/√Hz以下を達成した。また、このように十分に変位検出系を用いた場合、カンチレバーの変位をセンサー出力とする変位検出型のバイオセンサーにおいて、本研究課題で提案した多重反射方式のカンチレバーセンサーは平行レーザ光を用いれば、感度の向上に大きく寄与できることを示すことができた。