- 著者
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莅戸 立夫
- 出版者
- 一般社団法人 日本液晶学会
- 雑誌
- 日本液晶学会討論会講演予稿集 2006年 日本液晶学会討論会 (ISSN:18803490)
- 巻号頁・発行日
- pp.83, 2006 (Released:2008-03-13)
回折限界を超える分解能で物体を観察することが可能な走査型近接場顕微鏡の研究開発は,現在では電波から光に至る幅広い電磁波領域で活発に進められている。本講演では,誘電体材料,半導体基板,金属材料等の特性評価,物体表面の段差計測,高周波回路の特性評価といった応用分野で注目を集めている,マイクロ波,ミリ波といった高周波帯における走査型近接場顕微鏡技術の開発現状についてその概要を説明する。次に,我々が開発を行っている,スリット型プローブを用いたミリ波帯走査型近接場顕微鏡システムを紹介する。