1 0 0 0 SiC青紫色発光ダイオードの製法と特性
- 著者
- 中田 俊武 松下 保彦 古賀 和幸 上田 康博 上谷 高弘 藤川 好晴 山口 隆夫 新名 達彦
- 出版者
- 一般社団法人 日本真空学会
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.32, no.11, pp.797-800, 1989
4H形SiC基板結晶上に液相成長法を用いて, 脚接合を形成し, 青紫色LEDを試作した。発光ピーク波長及び半値輻はそれぞれ420nm, 40nmであり, 発光色は澄んだ青紫色であつた.この青紫色LEDは, 標準光源などの発光デバイスとしての利用とともに, 小型・軽量で使い易い高エネルギー光源としての応用も可能であろう.今後の課題は, 光度を上げること, あるいは結晶多形の制御を確実にして他の多形の混在を防ぐ技術の開発であろう.また, 4H形単結晶では不純物の制御によっては, より短波長 (400nm以下) 発光のLEDの得られる可能性があり, これらの研究を進めていくことも重要であろう。
1 0 0 0 OA 超音波はんだ付によるアルミニウムと異種金属との接合技術
1 0 0 0 OA 窒化アルミニウム
- 著者
- 松尾 重友
- 出版者
- The Vacuum Society of Japan
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.9, no.5, pp.183-189, 1966-05-20 (Released:2009-09-29)
- 参考文献数
- 12
- 被引用文献数
- 1 1
1 0 0 0 OA 真空処理無酸素銅の性質 (II)
- 著者
- 永井 康睦 斉藤 芳男 松田 七美男 酒井 修二 堀越 源一
- 出版者
- The Vacuum Society of Japan
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.32, no.3, pp.280-283, 1989-03-20 (Released:2009-10-20)
- 参考文献数
- 6
- 被引用文献数
- 1
1 0 0 0 OA 無酸素銅ガスケットにおける塑性変形の観察
- 著者
- 永井 康睦 酒井 修二
- 出版者
- The Vacuum Society of Japan
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.33, no.1, pp.21-27, 1990-01-20 (Released:2009-09-29)
- 参考文献数
- 6
- 被引用文献数
- 1 1
1 0 0 0 OA 光触媒の発見から現状,そして将来展望
- 著者
- 仲村 亮正 文 相喆 藤嶋 昭
- 出版者
- 一般社団法人 日本真空学会
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.49, no.4, pp.232-237, 2006 (Released:2007-04-12)
- 参考文献数
- 28
- 被引用文献数
- 1 1
1 0 0 0 OA MBE装置と超高真空技術
- 著者
- 大橋 茂治
- 出版者
- The Vacuum Society of Japan
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.35, no.11, pp.939-942, 1992-11-20 (Released:2009-10-20)
1 0 0 0 OA 真空遮断器用真空バルブの絶縁技術
- 著者
- 塩入 哲 本間 三孝
- 出版者
- The Vacuum Society of Japan
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.43, no.1, pp.18-23, 2000-01-20 (Released:2009-10-20)
- 参考文献数
- 19
- 被引用文献数
- 1 1
1 0 0 0 OA 宇宙機器の潤滑技術
- 著者
- 西村 允
- 出版者
- The Vacuum Society of Japan
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.38, no.6, pp.560-565, 1995-06-20 (Released:2009-09-29)
- 参考文献数
- 10
- 被引用文献数
- 1
1 0 0 0 OA 陽電子消滅法の最近の進歩
- 著者
- 堂山 昌男
- 出版者
- 日本真空協会
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.45, no.12, pp.821-826, 2002-12-20 (Released:2009-10-20)
- 参考文献数
- 27
1 0 0 0 4そう回転型プラズマ成膜現像電子線真空リソグラフィ装置
1 0 0 0 3電子銃付連続蒸着合成装置によるZr-N系抵抗体の作製
- 著者
- 佐塚 昭人 森 郁信 成田 政義 森 金太郎 水谷 道雄
- 出版者
- The Vacuum Society of Japan
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.14, no.9, pp.325-333, 1971
- 被引用文献数
- 2
This paper deals with an evaporation synthesis of zirconium nitride thin films which are used as electrical resistors. First, the thickness distributions of films produced by multiple sources have been computed. The incidence distribution of gas molecules on a substrate also has been calculated in a system with four gas inlet nozzles. The continuous evaporation apparatus for industrial use having a three-gun system for evaporation of zirconium was developed. The power of each electron gun is capable to be controlled individually by evaporation rate monitors in order to keep the evaporation rate constant. The uniformity in thickness of the deposited films has been compared with the theoretically calculated values. The specific resistivity of films and the temperature coefficient of film resistivity have been checked in relation to the synthesis condition of zirconium nitride thin films.
1 0 0 0 OA 低気圧SF6RF放電の周波数依存
1 0 0 0 OA 個々の表面電子スピンを調べる
- 著者
- 西嶋 光昭
- 出版者
- 一般社団法人 日本真空学会
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.49, no.4, pp.248-253, 2006 (Released:2007-04-12)
- 参考文献数
- 42
1 0 0 0 OA 真空中における摩擦と潤滑
- 著者
- 津谷 裕子
- 出版者
- 日本真空協会
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.14, no.11, pp.382-395, 1971-11-20 (Released:2009-09-29)
- 参考文献数
- 52
1 0 0 0 OA 逆磁場ピンチプラズマ装置を用いた壁材料評価
1 0 0 0 OA Oリングについて
- 著者
- 小林 政治
- 出版者
- 日本真空協会
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.5, no.5, pp.178-184, 1962-05-20 (Released:2009-09-29)
- 参考文献数
- 13
1 0 0 0 誘電体多層膜構造によるモルフォ蝶型発色体の作製
1 0 0 0 OA 油拡散噴射ポンプ・スチームエゼクターポンプ水ヂェットポンプの連続する排気系について
- 著者
- 中川 洋 石島 三郎
- 出版者
- 日本真空協会
- 雑誌
- 真空 (ISSN:05598516)
- 巻号頁・発行日
- vol.3, no.10, pp.381-388, 1960-10-20 (Released:2009-09-29)
- 参考文献数
- 8
The conventional evacuating system : combination of oil diffusion pump, booster pump and mechanical rotary pump, has serious faults in the case of pumping the chemically unstable matter. For instance, in the degassing stage of the molecular distillation plant, the gas is composed of air, volatile matter, water vapor and mist of unstable compound. These components are decomposed or polymerized in a evacuating system, and damage the normal opperation of pumps, especially in oil rotary pump. This is caused by less circulation of oil, and moving parts would be damaged.To conquer this difficulty, we tried to select the new pump composion ; diffusion-booster, steam ejector and water jet. This system has not any moving parts, so we can avoid adove difficulty. The performances of these pumps are as follows : Diffusion booster : Pumping speed (800900 l/sec at 10-310-2 mmHg) Critial back pressure (57mmHg) Steam ejector : Pumping speed (20 l/sec at 1 mmHg), Back pressure (40 mmHg) Water jet : Pumping speed (0. 95 l/sec at 5 mmHg), Back pressure (atmosphere).The overall performance shows very satisfactory result, and this system is now under continious operation for over a year.
