著者

森田 清三 杉本 宜昭 阿部 真之

出版者

公益社団法人 日本顕微鏡学会

雑誌

顕微鏡 (ISSN:13490958)

巻号頁・発行日

vol.45, no.1, pp.51-54, 2010-03-30 (Released:2020-01-21)

参考文献数

9

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原子間力顕微鏡による力学的原子操作について最初に説明し,つぎに,異種原子交換型垂直原子操作現象の発見と,これが探針先端原子を試料表面原子と室温で直接垂直交換できる夢の交換型単原子ペンであることについて明らかにする.最後に,原子埋め込み文字“Si”の組み立てにより,交換型単原子ペンによる室温での高速ナノパターンニングの可能性を示す.

著者

森田 清三 杉本 宜昭 オスカル クスタンセ 阿部 真之

出版者

一般社団法人 日本真空学会

雑誌

真空 (ISSN:05598516)

巻号頁・発行日

vol.49, no.11, pp.637-641, 2006 (Released:2007-06-29)

参考文献数

12

著者

森田 清三 菅原 康弘

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.67, no.12, pp.1402-1403, 1998-12-10 (Released:2009-02-05)

著者

森田 清三

出版者

一般社団法人 日本真空学会

雑誌

Journal of the Vacuum Society of Japan (ISSN:18822398)

巻号頁・発行日

vol.51, no.12, pp.769-770, 2008 (Released:2009-01-15)

著者

森田 清三 菅原 康弘

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会誌 (ISSN:09135693)

巻号頁・発行日

vol.85, no.11, pp.858-865, 2002-11-01

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半導体デバイスの評価装置には加工寸法の100分の1の空間分解能が要求され,2014年ごろには原子分解能が要求される.2020年ごろには,加工寸法は原子サイズに到達して,原子や分子から新ナノ物質や新ナノデバイスを組み立てる微細組立の時代に突入する.ここでは,21世紀前半に到来するミクロ極限の原子・分子時代に要求される原子分解能評価装置として,また,原子や分子から新ナノ物質や新ナノデバイスを組み立てる微細組立装置として,非接触AFMの空間分解能や様々な機能など,何がどこまでできるようになりつつあるかを紹介した.

著者

幾原 雄一 溝口 照康 佐藤 幸生 山本 剛久 武藤 俊介 森田 清三 田中 功 鶴田 健二 武藤 俊介 森田 清三 田中 功 鶴田 健二 谷口 尚 北岡 諭

出版者

東京大学

雑誌

特定領域研究

巻号頁・発行日

2007

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本終了研究では特定領域の成果報告会や国際会議を企画し,本特定領域によって構築された「機能元素の学理」の効果的な普及を行った.さらに,本特定領域で得られた知見を次代を担う若手研究者に引き継ぐためのプログラム(若手研究者向けセミナー,若手研究者海外滞在)も企画・運営した.また,班内の効果的な情報共有・打ち合わせのためのインターネット会議の実施や情報管理も本総括班が行った.平成24年度では以下のような総括班会議,成果報告会,シンポジウム等を行い,本特定領域で得られた研究成果の発信を行ってきた.・総括班会議の開催6月(東京)・特定領域最終成果報告会(公開)6/8(東京)【産官学から約200名の参加があった】・国際会議の開催(公開)5/9-11(岐阜)【国内外から約300名の参加があった】The 3rd International Symposium on Advanced Microscopy and Theoretical Calculations(AMTC3)・国際学術雑誌企画5月(AMTC Letters No.3)・最終研究成果ニュースレター冊子体の企画6月・特定領域特集号発刊(セラミックス)・若手研究者向けセミナー1月(名古屋)6月に開催した本特定領域の最終成果報告会においては200名近い参加があり,非常に盛会であった.また,5月に行われた国際会議においても世界中から第一線で活躍する研究者が一堂に会し,3日間にわたって活発な議論が行われた.また,次世代研究者の育成をめざし,研究者の海外滞在プログラム(米国オークリッジ国立研究所,英国インペリアルカレッジ)も行われた.また大学院生を対象とした第一原理計算,透過型電子顕微鏡,電子分光に関するセミナーも開催した.

著者

森田 清三 杉本 宜昭 大藪 範昭 クスタンセ O. 阿部 真之 ポウ P. ジェリネク P. ペレッツ R.

出版者

The Vacuum Society of Japan

雑誌

真空 (ISSN:05598516)

巻号頁・発行日

vol.50, no.3, pp.181-183, 2007-03-20

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An atomic force microscope (AFM) under noncontact and nearcontact regions operated at room-temperature (RT) in ultrahigh vacuum, is used as a tool for topography-based atomic discrimination and atomic-interchange manipulations of two intermixed atomic species on semiconductor surfaces. Noncontact AFM topography based site-specific force curves provide the chemical covalent bonding forces between the tip apex and the atoms at the surface. Here, we introduced an example related to topography-based atomic discrimination using selected Sn and Si adatoms in Sn/Si(111)-(√3 ×√3 ) surface. Recently, under nearcontact region, we found a lateral atom-interchange manipulation phenomenon at RT in Sn/Ge(111)-c(2×8) intermixed sample. This phenomenon can interchange an embedded Sn atom with a neighbor Ge atom at RT. Using the vector scan method under nearcontact region, we constructed "Atom Inlay", that is, atom letters "Sn" consisted of 19 Sn atoms embedded in Ge(111)-c(2×8) substrate. Using these methods, now we can assemble compound semiconductor nanostructures atom-by-atom.<br>