著者
寺山 裕 草津 航平 森田 倫太朗 カチョーンルンルアン パナート 和田 雄高 濵田 聡美 檜山 浩國
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2019, pp.138-139, 2019

<p>半導体製造ではウェハ上に残留する直径100 nm以下の研磨ナノ粒子は重大な製造欠陥を引き起こすため,研磨後の表面洗浄は必要不可欠である.未だ解明されていないブラシスクラブ洗浄時表面近傍で発生するナノ粒子の付着・離脱挙動現象を,基板表面のみに局在するエバネッセント光で動的に観察した.本稿ではPVAブラシと異なった波長で蛍光するナノシリカ粒子を用いてブラシと粒子を色識別し,洗浄現象の可視化を行ったので報告する.</p>
著者
小倉 一朗 芦田 極 明渡 純
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2013, pp.111-112, 2013

大規模配線基板やマイクロ部品を対象にした多品種変量生産技術を実現するため,オンデマンドリペア技術が望まれている.本研究では製造欠陥を迅速に検出する,レーザスキャンによる欠陥検出システムの開発を目指している.本システムでは製品表面を4秒以内で検査し,欠陥があった場合は別途リペア加工することで生産の歩留まり向上を実現する.本報では高速欠陥検出システムの試作と評価基礎実験を行った結果について述べる.
著者
王 俊貞 大月 翔平 高橋 智一 鈴木 昌人 青柳 誠司 神崎 務 大野 泰史
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集 2014年度精密工学会春季大会
巻号頁・発行日
pp.611-612, 2014-03-01 (Released:2014-09-01)

蚊の穿刺動作を模倣した低侵襲性の微細針を開発するため,蚊の針の穿刺行動及び吸血行動を観察した.本研究では蚊の口針が皮膚内部へ侵入していく様子と吸血動作をより詳細に観察するため,側面方向から穿刺動作を観察可能な特殊な人工皮膚を開発した.この人工皮膚は食用寒天を主材料とし,内部に人間の血液が仕込まれている.結果,蚊の口針がこの人工皮膚へ侵入し,血液を吸引する様子を観察することに成功した.
著者
輿水 大和 藤原 孝幸 室伏 広治
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2007, pp.593-594, 2007

蛍狩りカメラは、空間内の輝点の3D位置を撮像面のリング像の位置と半径としてリアルタイムで撮像することができる単眼カメラである。本研究では、ハンマー投げ選手の頭部に設置したLEDの3D軌跡を分析し、アスリート動作解析を試みた。
著者
小林 左千夫 木村 文彦
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集 2005年度精密工学会秋季大会
巻号頁・発行日
pp.183-184, 2005-09-15 (Released:2006-04-18)

曲線·曲面を工業的に利用する際に重要である幾何学的な性質の代表例としては、曲率や曲率分布が挙げられる。曲線の曲率を制御する手法については、従来より様々なアプローチによって研究がなされてきている。しかし、どの手法も曲率制御のために大きな制約を与えているので、表現力の点で十分とは言えないものである。そこで本研究では新たな曲線を定義し、曲率分布を制御する手法を提案する。
著者
飯塚 保
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2006, pp.921-922, 2006

ガラスの延性切削において,超精密旋盤を用いた旋削では切込み量は0.1μm程度である.フライカットならばガラス切削の能率を向上させる可能性があるため,改造した超精密旋盤を用いて実験を行った.その結果,工具に超硬合金(K10)を使用してソーダ石灰ガラスに延性切削が可能であり,その切込み量は旋削の数十倍である.ガラス切削の高能率加工へ期待が持てる結果が得られたので報告する.
著者
出井 裕
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.75, no.8, pp.937-940, 2009-08-05 (Released:2011-02-07)
参考文献数
6
被引用文献数
1
著者
関谷 克彦 山根 八洲男 五十川 良則 玉田 浩史 山田 啓司
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2006, pp.291-292, 2006

損耗センサ付き工具を用いたフライス加工用工具損傷検知システムの実用化を目指し,複数工具に対する検知システムを構築するために,損傷した工具数と仕上げ面粗さの関係について調査した.工具の突き出し量を考慮し,工具コーナ部による切削仕上げ面の最大高さを幾何学的に求め,実験結果と比較した.連続損傷個数が増加すると粗さは劣化し,粗さ許容値から求めた許容連続損傷枚数を検知することが可能なシステムの構成例を考案した.
著者
田中 健翔 満吉 悠太 鳥井 昭宏 道木 加絵 元谷 卓
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2017, pp.159-160, 2017

本研究では積層型圧電素子を用いた浮上して移動するアクチュエータの実用化を目指している。これまでにインピーダンスアナライザを用いてアクチュエータのアドミタンス、端子間電圧と電流の位相差等の電気的周波数特性を測定し実際にアクチュエータを浮上させたときの周波数特性の比較を行った。今回は、周波数 特性分析器を用い入力電圧の変化による圧電素子の電気的特性、機械的特性の変化とその原因について考察する。
著者
小川 圭二 廣垣 俊樹 青山 栄一
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2005, pp.478, 2005

魔鏡は,鏡裏面の模様を投影する青銅鏡として,古くから伝えられてきた.魔鏡面に平行光を当てると,表面に形成された数百ナノオーダーのうねりにより反射角に差が生じてスクリーン上で明暗を生じる.古来,魔鏡は熟練鏡師により,鋳造で裏面模様を形成し,鏡となる面を手の感触を頼りに磨くことで創製されてきた.本報では,NC切削加工や研磨加工などデジタル技術を応用した魔鏡面の創製を試みた.
著者
渡邉 鉄也
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.74, no.8, pp.877-882, 2008-08-05 (Released:2010-09-15)
参考文献数
7

Fly-fishing and lure fishing have been positioned as sports deliberately different from the traditional Japanese fishing-style. In the case of lure fishing, casting is the element which anglers must master in order to cast a lure at an appropriate position. Lure fishing constitutes various elements, for example, casting, reeling, hooking and landing, but the importance that casting holds is extremely large. This study uses experimental and computational analysis to investigate the dynamic behavior of lure casting. The casting process and the timing of the line leaves are important for the proper presentation of lure. Moreover, the shape of a rod before the lure released is important for a long cast or controlled cast. However, it is difficult to grasp the phenomenon or to make a numerical model. Therefore, the most suitable casting method will be clarified from the viewpoint of sports engineering and human dynamics. In this paper, the system of rod and lure is modeled, and the behavior of the rod and the flying distance of a lure are calculated in the case that line tension is considered. The difference of the behavior and flying distance with line tension is investigated. And suitable timing that angler releases the line is clarified. Moreover, hang length of lure is investigated and proper length is obtained.
著者
浅枝 敏夫 西本 廉
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密機械 (ISSN:03743543)
巻号頁・発行日
vol.24, no.279, pp.243-248, 1958-05-05 (Released:2009-06-30)
参考文献数
8

This paper describes how the magnitude and distribution of residual stresses in cold-rolled 4-6 brass sheets are affected by the reduction and the annealing temperature before rolling. For this purpose the residual stresses in the traverse direction as well as in the rolling direction are measured.The results obtained are summarized as follows :(1) The distributions of the residual stresses in the rolling direction are of the same type ; tension in the surface and compression in the inner layer.(2) The annealing temperature of 600°, 650° and 700°C causes nearly the same residual stresses in the rolling direction.(3) The residual stresses in the traverse direction are changed remarkably by the annealing temperature ; the stress caused by the rolling after annealing at 600°C is much greater than that at 650° and 700°C. And the type of stress distributions is oscillation type, in which compressive and tensile stresses exist alternately.(4) The rate of reduction is almost independent of the residual stresses in both directions.
著者
北井 洋人 小野里 雅彦 田中 文基
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2020, pp.89-90, 2020

<p>人間と産業用ロボットが共同して行う組立作業の計画案を,動作シミュレーションにより検討・評価が可能な設計・計画支援環境の構築法の開発を本研究の目的とする.本報告では,実際のロボットと同様のシステムを用いてモデルの制御を行うことで,作業者とロボットモデル間の相互作用を導入する.これにより,ロボットモデルとハンドモデルの干渉を検知し強制停止するなど,実際の発生事象に対応したシミュレーションを可能とする.</p>
著者
安田 裕紀 福田 好朗
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2009, pp.973-974, 2009

セル生産では、数多くあるセルに対して部品の供給や完成品の回収する配送ルートを決定する必要がある。その時に運搬距離を短くし、それによるアイドルタイムを抑制しなくてはならない。本論文では、新たなレイアウトと配送ルートの決定方法の有効性を考察している。レイアウトを行ってから配送ルートを決定する従来の方法と最短ルートを優先して決定しレイアウトを行う方法とで、配送作業員が一人で対応できる範囲で比較を行った。

1 0 0 0 OA 気中放電加工

著者
国枝 正典 吉田 政弘
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.64, no.12, pp.1735-1738, 1998-12-05 (Released:2009-06-30)
参考文献数
9
被引用文献数
3 3
著者
古舘 周 国枝 正典
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.67, no.7, pp.1180-1184, 2001-07-05 (Released:2009-04-10)
参考文献数
11
被引用文献数
2 4

This paper describes the development of a new dry wire electrical discharge machining (dry-WEDM) method which is conducted in a gas atmosphere without using dielectric liquid in order to improve the accuracy of finish cutting. In dry-WEDM, since the process reaction force is negligibly small, the vibration of the wire electrode is minute. The gap distance in dry-WEDM is narrower than that in conventional WEDM using dielectric liquid, enabling dry-WEDM to realize high accuracy in finish cutting. Moreover, since there is no need to use water as dielectric liquid, there is no corrosion of the workpiece, making dry-WEDM advantageous for the manufacturing of high-precision dies and molds.
著者
谷口 和雄
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密機械 (ISSN:03743543)
巻号頁・発行日
vol.29, no.338, pp.209-219, 1963-03-05 (Released:2010-02-16)
参考文献数
4

(1) The orthogonal machining tests on lead were performed at different cutting conditions to measure the horizontal and vertical components of the cutting forces.According as the increase of rake angles ranging from 20° to 40°, the shear strain at a shear plane and the horizontal component of cutting force decreased, but the shear stress at a shear plane increased a little.According as the increase of cutting velocities ranging from 50 to 4, 000 mm/min, the shear strains varied very little, but the shear stresses increased some amount. These effects of cutting velocities were considered that the higher the cutting velocities, the greater the strain rates which accompanied strain hardening.(2) The angle between the cutting force and the direction of cutting, φR was expressed as follows.tan φR=Ft/Fc;φR=βf-α.The relation of shear angle φs with φR was expressed as φs+φR= 45° according to Leeshaffer, that is, φs=45°-βf+α, but the experimental results for lead revealed φs+φR<45°, and φo+φR_??_45°.φo is an ideal shear angle which was explained in Report 1.(3) The contact length of tool-chip was considered a very important factor to determine the shear strain and the shear stress of a chip at the rake surface of a tool.The contact length was measured experimentally by the observations of the wear land on the rake surface. On the other hand, the contact length was calculated theorically for the complex model of chip formation.The experimental value of the contact length was larger than the theoritical one which was used to determine the strain and stress of a chip at the rake surface in this report.(4) The equilibrium equation was treated between input energy and output energy for the orthogonal cutting system which contained material, a chip and a tool.Being based on the equilibrium equation, the cutting energy was analized mathematically for the complex model of chip formation which was explained in Report 1.(5) It was assumed that the cutting energy could be divided in some factors independently to each other, and that it was replaced by one shear strain and one shear stress.The assumptions are shown as follows :Wc{1-E(ω)/Wc}=τ1·γ1+τ2·γ2+τf·γfγt=γ1+γ2+γfτt=Wc/γt{1-E(ω)/Wc}_??_Wc/γtIn this report the relations of Wc(τ1·γ1+τ2·γ2+τf·γf) and γtτt, were checked experimentally for lead.
著者
今木 大輔 佐藤 隆太 堤 正臣
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2006, pp.173-174, 2006

工作機械や半導体製造装置の送り駆動系には,一般的に直動転がり案内機構としてボールガイドが用いられている.特に近年採用されつつあるリニアモータを用いた送り駆動系では,接触が直動転がり案内部分のみとなるため,送り駆動系の摩擦特性は直動転がり案内の特性に大きく依存する.本研究では,ボールガイドの球径が,送り駆動系全体の摩擦挙動に及ぼす影響を実験的に解析している.
著者
岡田 直貴
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2017, pp.923-924, 2017

注射型ワクチンは接種に医療従事者を必要とし、製剤の輸送・保管に一貫した低温温度管理の整備が求められる。そのため、開発途上国などの地域にワクチンが浸透しにくく、感染症パンデミックやバイオテロリズム発生時における迅速大規模接種も困難とされる。本発表では、簡便性と低侵襲性を併せもった新規ワクチン剤形として注目されている「マイクロニードル技術を活用した経皮ワクチン製剤 (貼るワクチン)」の開発状況を紹介する。

1 0 0 0 OA HSK標準化研究

著者
堤 正臣 清水 伸二 青山 藤詞郎
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.64, no.6, pp.830-834, 1998-06-05 (Released:2009-06-30)
参考文献数
16